Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope

  • Springer

  • Date de publication : 2023-04-17


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Détails du livre

Titre : Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope
Pages : 224
Collection : n.c
Parution : 2023-04-17
Éditeur : Springer
EAN papier : 9789811992469
À propos du livre


This book introduces the key technologies in the manufacture of double-mass line vibrating silicon micromechanical gyroscope, respectively. The design of gyrostructure, detection technology, orthogonal correction technology, the influence of temperature and the design of measurement and control system framework are introduced in detail, with illustrations for easy understanding.
It presents the principle, structure and related technology of silicon-based MEMS gyroscope. The content enlightens the researchers of silicon-based MEMS gyroscopes and gives readers a new understanding of the structural design of silicon-based gyroscopes and the design of dual-mass gyroscopes.

Format EPUB - Nb pages copiables : 2 - Nb pages imprimables : 22 - Poids : 65423 Ko - - Prix : 160,49 € - EAN : 9789811992476

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