Mechanical Properties of Silicon Based Compounds: Silicides



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Éditeur : xxx
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À propos du livre

Cet ouvrage se concentre sur les propriétés mécaniques des silicures pour les applications d'intégration à très grande échelle (VLSI). Il présente le procédé de fabrication des silicures en vrac et des films minces, et énumère les déformations complètes des essais de déformation pour une variété de composés à base de silicium. L'auteur présente également les dislocations dans les aspects des silicures, de la fatigue et des fractures. Un chapitre spécial est consacré à la déformation des silicures à l'échelle nanométrique. Les composites et les alliages sont également pris en compte.


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